在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思
来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/08/08 06:32:12
在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思
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是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.
小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.
其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.
小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.
其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.
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