光刻技术
来源:学生作业帮助网 编辑:作业帮 时间:2024/07/27 22:54:05
光刻工艺主要步骤1.基片前处理为确保光刻胶能和晶圆表面很好粘贴,形成平滑且结合得很好的膜,必须进行表面准备,保持表面干燥且干净,2.涂光刻胶涂胶的目标是在晶圆表面建立薄的、均匀的,并且没有缺陷的光刻胶
解题思路:离子交换膜的作用分析解题过程:varSWOC={};SWOC.tip=false;try{SWOCX2.OpenFile("http://dayi.prcedu.com/include/re
基因工程(geneticengineering)又称基因拼接技术和DNA重组技术
刻章机是依靠激光管产生激光,激光携带高温在章料上逐行扫描雕刻,激光刻章机可以在塑料,牛角,有机等硬质材料上雕刻这样的吧科泰刻章机厂家提供
我来打个比方吧:比如说你看集成电路板,上面不是有一条一条金属线么?那个线不是画上去的,是整个刷一层铜到塑料板上,然后上面刷一层蜡,然后你用刀子把没有导线的部分的蜡“刻”下去,然后把这块板子扔到腐蚀液里
基因工程技术:将重组对象的目的基因插入载体,拼接后转入新的宿主细胞,构建成工程菌(或细胞),实现遗传物质的重新组合,并使目的基因在工程菌内进行复制和表达的技术.
地理信息技术的核心是3S技术,但是并不局限于3S技术,还包括虚拟环境,网络GIS等其他技术. 现在是地理信息技术与IT其它技术集成的时代: 1、GISRSGPS=3S 2、GIS多媒体技术 3
1,HMDS是气相涂布在硅片表面,也就是硅片在HMDS的蒸汽中放置一会儿,温度约100-180度即可2,HMDS处理后需要冷却后涂胶,但等待时间不能太长,过长处理效果会变差,建议4小时内完成涂胶3,H
技巧!是指某种手艺、特长!
是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.
指的是波长,i线是指365nm,g线是指436nm,高压汞灯中能量最高的两个谱线.波长越短,光刻分辨率越高.
这是有历史原因的.早期的光刻胶一般对黄光不敏感,而对其他波长的光比较敏感,因此cleanroom里面的照明一般都是黄光照明,避免了光辐照后可能产生酸或产生交联(和曝光的效果一样,只是剂量少一点);现在
紫外胶的现在基本都是使用405nm的激光器,焦点做到这么小的话应该需要做成单模光纤耦合的了,镜头主要是根据实际的光斑大小和作用距离来决定的再问:我们现在有款光纤耦合的激光器,光纤直径是2.9um的,现
1.wafer表面处理;2.旋涂光刻胶(包括抗反射层)3.前烘;4.曝光;5.后烘;6.显影,有的需要在显影前进行坚膜;7.刻蚀
鱼鸭混养技术 鱼鸭混养可充分利用水面,做到资源共享,良性循环,实现双丰收.其技术是: 鱼鸭混养的池塘选择与设施建没 一、池塘选择、建设.鱼鸭配套的池塘要选择在无污染的水质良好,水源充足,交通方便
当然不同,激光源,激光透镜,激光光路是决定价格的主要因素.ASML是世界上最先进的光刻机公司,先进的型号可制备32nm及以下的制程,是你说的淘宝上微米级不可同日而语的.是飞机与自行车技术含量的对比.再
涂胶,曝光,显影.涂胶又分HMDS,Coat,Softbake三步显影分PEB,Develop,Hardbake三步
能腐蚀二氧化硅的常见的有强碱,比如氢氧化钠,还有氢氟酸,氢氟酸的腐蚀效果比强碱好,速度快.至于能不能腐蚀光刻胶,要看具体是什么光刻胶,有的抗强碱腐蚀,有的能抗氢氟酸腐蚀.比如:一种正胶XAR-P310
摘要:对基于SU28胶的UV2LIGA技术进行了工艺优化,研究了光源波长和曝光时间对SU28胶成型的影响.结果表明,光刻胶表面线宽变化随曝光时间增加先减少后增加,有一个极小值;侧壁角度先增加后减少,有