PECVD 是什么
来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/07/29 11:03:28
PECVD 是什么
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PECVD( plasma enhanced chemical vapor deposition )等离子体增强化学气相沉积
它是电池片生产过程中的一道工序,(电池片的生产工序主要有1.清洗制绒 2.扩散 3.刻蚀.4.扩散后清洗 5.PECVD 6.丝网印刷 7.测试分选)PECVD主要是对电池片的正极面进行镀膜从而加大电池片对光的吸收强度 目前据我知道的它主要分为板式和管式两种工艺
它是电池片生产过程中的一道工序,(电池片的生产工序主要有1.清洗制绒 2.扩散 3.刻蚀.4.扩散后清洗 5.PECVD 6.丝网印刷 7.测试分选)PECVD主要是对电池片的正极面进行镀膜从而加大电池片对光的吸收强度 目前据我知道的它主要分为板式和管式两种工艺