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半导体掺杂用的磷纸,请问这个磷纸是什么?能尽量的详细解释一下吗?

来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:物理作业 时间:2024/07/13 16:26:41
半导体掺杂用的磷纸,请问这个磷纸是什么?能尽量的详细解释一下吗?
半导体掺杂用的磷纸,请问这个磷纸是什么?能尽量的详细解释一下吗?
磷纸这个词没听说过,但是一般半导体掺杂是为了让其有多余的电子或者空穴而成负/正特性.掺杂5价元素成正,3价元素成负.除此之外还有特殊目的的掺杂,比如掺杂硼(B)来起到eaching stop 的作用.
再问: 请问能把掺杂硼 在说的具体一点吗?
再答: 你如果不亲手做,不用考虑太多。说起来很简单,就是掺杂了硼以后,在蚀刻的时候,速度要远远小于普通的硅,这样的话,在蚀刻深度的控制上能够控制,同时,对蚀刻的地面的平整度也有所改善。