真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?
来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/08/19 10:25:05
真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?
![真空多弧离子镀膜机偏压电源的工作原理?](/uploads/image/z/16659954-18-4.jpg?t=%E7%9C%9F%E7%A9%BA%E5%A4%9A%E5%BC%A7%E7%A6%BB%E5%AD%90%E9%95%80%E8%86%9C%E6%9C%BA%E5%81%8F%E5%8E%8B%E7%94%B5%E6%BA%90%E7%9A%84%E5%B7%A5%E4%BD%9C%E5%8E%9F%E7%90%86%3F)
离子镀膜其实是离子溅射镀膜,
对于导电靶材,使用直流偏压电源;非导电靶材,使用脉冲偏压电源.
你这个多弧离子镀膜机,可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源
偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场,一般是阴极加负高压.阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射,发射电子轰击气体分子,使之电离,并且气体被驱出的电子被电场加速,继续电离其他气体分子,连续不断,形成雪崩效应,气体被击穿,形成恒定的电离电流.此时离子也被加速,轰击靶材,将靶材中的原子驱除出表面,并沉积在样品表面.
电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器,靠电弧加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速撞击.
对于导电靶材,使用直流偏压电源;非导电靶材,使用脉冲偏压电源.
你这个多弧离子镀膜机,可能还需要直流电弧电源或脉冲电弧电源
偏压电源其实就是在阴极和样品所在位置的阳极之间形成偏压电场,一般是阴极加负高压.阴极表面的自由电子在电场作用下定向加速发射,发射电子轰击气体分子,使之电离,并且气体被驱出的电子被电场加速,继续电离其他气体分子,连续不断,形成雪崩效应,气体被击穿,形成恒定的电离电流.此时离子也被加速,轰击靶材,将靶材中的原子驱除出表面,并沉积在样品表面.
电弧电源有点类似日光灯启辉器和镇流器,靠电弧加热电离气体形成等离子体,而不是电子加速撞击.