硅单晶中炭含量和氧含量分别是多少算合格的,偏高还是偏低好.
来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/07/14 17:23:30
硅单晶中炭含量和氧含量分别是多少算合格的,偏高还是偏低好.
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C含量小于1PPM(5*10的16次方)
O含量小于1*10的18次方
O含量头高尾低,头:1*10的18次方,尾:(7-8)*10的17次方.O含量在低点好.
碳同理
O含量小于1*10的18次方
O含量头高尾低,头:1*10的18次方,尾:(7-8)*10的17次方.O含量在低点好.
碳同理
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