石墨烯镀膜技术是PVD还是CVD?
来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:综合作业 时间:2024/08/05 04:03:10
石墨烯镀膜技术是PVD还是CVD?
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是CVD技术,
CVD技术里面有不同分类:
PECVD 等离子增强化学汽相淀积
MWCVD 微波等离子增强化学汽相淀积
CVD 普通的只是加热的化学汽相淀积
CVD技术里面有不同分类:
PECVD 等离子增强化学汽相淀积
MWCVD 微波等离子增强化学汽相淀积
CVD 普通的只是加热的化学汽相淀积