磁控溅射中在溅射过程中一直充入氩气,同时还要抽出氩气,这是为什么?能否为小弟指点迷津
来源:学生作业帮 编辑:搜搜做题作业网作业帮 分类:化学作业 时间:2024/08/06 16:05:52
磁控溅射中在溅射过程中一直充入氩气,同时还要抽出氩气,这是为什么?能否为小弟指点迷津
即为什么不设定一个气压值,在压强低于这一恒定值时再充入氩气,直到再次达到这一恒定值?
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首先,真空腔室存在漏气,如果没有连续抽气,外界的空气就会渗入腔体,影响工作气体的洁净度,可能使得薄膜氧化或者氮化;其次,溅射是一个动态平衡,需要不断的更新靶表面的气体保持工作状态不变,否则无法获得结构均一,性能良好的薄膜.
无法重复发帖.
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磁控溅射镀膜中 氧气 氩气 氮气 分别起什么主要作用?
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为什么蜡烛在融化过程中温度一直上升,而冰在融化过程中温度一直保持不变?
把烧红的铁块放入冷水中,会听到一阵响声,同时能看到水上出现“白气”,在此过程中,发生的现象是?
在减数分裂过程中,在等位基因分离的同时,非等位基因自由组合.这句话为什么是错的,
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磁控溅射Cu的时候,基底温度大概有多少度?要是溅射铝呢?能不能在塑料上溅射铜呢?
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做木炭在氧气中燃烧时,能否开始就将红热的木炭放入集气瓶底部?为什么?
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可是苏州各个园林在不同之中有个共同点,似乎设计者和匠师们一直追求的是.句中加点的词能否删掉,为什